第697章 直奔浸润式光刻
而苏远山上次从HK回来时就路过了沪市，专门去看了林本坚罗列出的一个个要解决的技术问题和难点。按照苏远山对工程和光学的浅薄认识来看，这些技术，都不是超越现代工程的技术。
那么这就意味着，浸润式方案，也会如同前世一样，或许两年就能搞出来——把时间再算抛一点，那也就是三年！
三年！
如果郑振川和林本坚的团队一同协助，一开始就直奔浸润式DUV，那么或许最多三到五年……鸿芯就能推出世界上第一台浸润式DUV光刻机。
想到2003年，自己就能拿到可以卖20年都不会落伍的DUV，苏远山就感觉到有点燥热起来。
那该是多么伟大的一次超越啊……
“不，林，赵团队没有解决光源，但他们有解决镜头的方案。可以实现超越193nm的效果。”
如果郑振川和林本坚的团队一同协助，一开始就直奔浸润式DUV，那么或许最多三到五年……鸿芯就能推出世界上第一台浸润式DUV光刻机。
想到2003年，自己就能拿到可以卖20年都不会落伍的DUV，苏远山就感觉到有点燥热起来。
那该是多么伟大的一次超越啊……
“不，林，赵团队没有解决光源，但他们有解决镜头的方案。可以实现超越193nm的效果。”