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第698章 卖方市场

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老美那边搞EUV搞得如火如荼,国内却半点“动静”都没,并不是真实情况。

事实上,再老美EUV联盟成立的当月,中科院的几大光机所就联合召开了数次会议,讨论如何实现EUV光源。

毕竟,遇事不决先摸一把鹰酱,这是传统技艺了。

在这方面,中科院诸位那可谓是老手艺人。

讨论的结果自然是不容乐观的。

国内光学技术的扛把子,长光所,为了支持国产光刻机激光光源的发展,几乎是把所有精锐和骨干都拿去支援了赵凯东——甚至赵凯东本身就是国内准分子激光领域的专家,也是亲自引导着激光光源的半导体领域市场化的先行者。

所以,当时尚未企业化的赵凯东团队,便在下一代光源上的发展方向上拥有极大的话语权。

在会上,赵凯东力排众议,认为国内的半导体光源领域要一步一个脚印,现在可以对EUV进行理论上的研究,但最重要的还是需要把眼前的事做好,譬如积极推进Arf光源的市场化,进一步巩固基础,培养人才。

再加上老美那边牵头的阵仗实在太大,国内唯一有资格与之掰一下手腕的远芯又“兴致缺缺”,和赵凯东秉持一个态度……

当然,项虽然没有立,但不表示就真埋起头当鸵鸟了。长光所还是从有限的经费和人员中开展了对EUV理论上的推动,甚至还拉着科研经费逐渐富裕起来的清华成立了联合的小组。

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