第253章 最大的难点
不过分辨纳米光刻机虽好,却也存在一个较为严重的缺陷。
那就是曝光时间过长。
尤其实在芯片领域,euv光刻机曝光15秒便能完成的任务,分辨光刻机需要十多天。
更加形象的比喻是,传统光刻机是直接拍出一张照片,分辨光刻则是拿一支笔,慢慢画出一张图片……效率差别巨大。
……
商海微电子公司。
来到这家公司调研的陈今,看到面前的这台22纳米分辨光刻机,听了该公司的老总张昱明的介绍后。
“你说这么好的设备,不能用于芯片的制造,为什么不能?”
陈今皱着眉头,这太可惜了吧。
“不是不能,而是太慢!我们想了各种办法提高它的曝光效率,但曝光一张影刻,依然需要五天的时间,效率是传统光刻几万分之一,这完全抵消了我们的成本优势,只适合给一些较小规模的市场,比如军用芯片、光学器件、高精密光栅、光子晶体阵列等等,这些领域我们的分辨光刻机卖了好几十台。”
“但大规模的芯片制造,只能老老实实地展传统光刻。”
张昱明摇着头道。