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第866章

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疯了吧!

这时,苏远山的声音透过几个座位慢慢传来。

“通过在镜头与衬底之间加入于玻璃折射率接近的水,减小物镜射出的光折射角,从而提升物镜的孔径,提高分辨率。根据CD=K1*λ/NA,用水替代空气后,就相当于193nm波长等效缩短到134nm。”

“而且……它不需要重新研制光刻胶。”

苏远山看着在自己身旁围成一圈的众人,嘴角微微一翘。

“具体的技术和消息,还请大家关注宏芯的相关发布会。”

……

五个小时后,宏芯以浸润式光刻技术攻克193nm光源的消息瞬间传遍了整个半导体行业。

相比行业消息的传播速度,新闻向来要晚一步,但也是在第二天晚上,新闻联播也正式公布了世界上最先进的光刻机诞生在国内,并成功通过专家组验收的消息。

一时间,宏芯的大门被数不清的媒体踏破,采访的同时,这些媒体也纷纷担起了科普责任,在各个渠道为民众普及起了什么叫光刻机,什么叫晶圆厂,一颗中央处理器又是怎么来的……

至于苏远山,则拒绝了所有的采访邀请,并在半导体峰会结束的第二天便启程前往了硅谷。

浸润式光刻的荣耀就留给该享受荣耀的人好了。

*

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