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第九五一章 双喜临门

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四十九岁的夏季常教授华学国家光电研究所副所长,研究方向就光刻机工作台自动化,当年钟德伟的博士生,次被老师邀请带着研究团队,到京城半导体设备公司参与光刻机悬浮式双工作台系统项目的联合攻关。

世,华学国家光电实验室也参与步进扫描式光刻机的研发项目。

见识了夏季常教授亲自操作光刻机曝光台测光台自动化的现场演示后,孙健才相信第一台光刻机悬浮式双工作台系统样机研制成功了!

G科学家能力众、潜力无限,BSEC才济济,一旦世界一流的实验室配套工厂建成,资金支持,重奖项目组,名利双收,必将激发项目组成员的潜力,ArF准分子激光器项目、5英寸晶圆项目光刻机新镜头项目的研制成功只间问题。

重生者的信心倍增。

“钟顾问辛苦了!”

孙健接见七十九名光刻机悬浮式双工作台系统项目联合攻关组成员,首先慰问攻关组副组长、年龄最的钟德伟教授,为研制第一台光刻机双工作台系统样机立汗马功劳。

从邓院长的口里得知,没钟德伟教授夏季常教授带的科研团队,特别夏季常团队经验丰富,带了华学国家光电研究所近年研究光刻机工作台自动化的实验数据,项目攻关组也能么短的间内,研制成功世界第一台光刻机悬浮式双工作台系统样机。

光刻机磁悬浮双工作台系统结构复杂,涉及光刻机光源、光刻机光学系统、晶圆、磁悬浮技术、步进电动机、超精密测控装备、超精密运动系统自动化控制系统等多专业学科的顶尖技术成果。

“孙总,就喜欢找点难事做做,延缓衰老。”

哈哈……

“邀请夏教授任光刻机双工作台系统研究所所长,团队成员都以留。”

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