第303章 一代光刻机

其中光刻机已无法从国外进口，另外还有等高能离子注入机被两家米国企业所垄断，同样被限制进口到华国大陆。其他大部分设备限制没有这么严格，蓝星集团已在全球完成订购。

自研更高效率、更小制程新型光刻机及芯片生产线，势在必行。对此马由也早有计划。除连港的机床厂生产高精密数控机床外，京城、鹭岛、蓉城、姑苏等地都规划了精密仪器、设备工厂。在姑苏布局了光学工业，在实验室已完成光源制造。这都是为生产芯片生产设备所需，进行的产业布局。

芯片生产线中最核心的设备光刻机，是马由最先要解决的难题之一。它跟照相机有相似的原理和构造，它的底片就是涂满光敏胶的硅片。电路图案经光刻机，缩微投射到底片，蚀刻掉一部分胶，露出硅面做化学处理。制造芯片，要重复几十遍这个过程。

位于光刻机中心的镜头，由20多块锅底大的镜片串联组成。镜片得高纯度透光材料+高质量抛光。光刻机使用的镜片，得数万米元一块。这时阿斯麦尔光刻机镜片都是靠蔡司技术打底。其他如尼康等光刻机厂，本身就是光学工业企业。

马由布局在姑苏的光学工厂，通过这几个月生产各种影像设备，逐步掌握了蓝星集团自研的各种高端光学制造设备和仪器。其中一个小组，已秘密开始研制光刻机镜片。

有顶级的镜头和光源，还需极致的机械精密制造。

光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。两者需始终同步，误差在2纳米以下。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。有专家形容道：“相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。”